Атомные ступени на поверхности кремния как тест-объект высоты в атомно-силовой микроскопии

Abstract

Для обеспечения единства измерений в нанотехнологиях разработан тест-объект для прецизионной калибровки z-координаты атомно-силового микроскопа в суб- и нанометровом диапазонах с точностью до 0,05 нм на основе системы атомных ступеней, высотой в одно межплоскостное расстояние, на вицинальной поверхности кремния. Предельно высокая точность тест-объекта обеспечена за счет сравнения его значения с параметром атомной решетки совершенного кристалла.

To ensure uniformity of measurements in nanotechnology test-object have been developed. It provide precise calibration of z-coordinates of the atomic force microscope in the sub-and nanometer bands with an accuracy of 0.05 nm on the basis of a system of atomic steps, one interplanar distance in height, at the vicinal surface of silicon. Extremely high precision of the test-object is provided by comparing its values with the atomic lattice parameter of the perfect crystal.